GGB Industriesは、米国フロリダ州ネープルズに本社を構え、半導体業界向けの高周波測定プローブなどを製造・販売するメーカーです。
本記事では、GGB Industriesのコンタクトプローブにおける技術的な強みや製品ラインナップ、各製品の仕様、導入事例の有無、納期・サポート体制などを紹介します。
GGB Industriesの強みは、半導体デバイスの高周波特性を測定するため、信号の伝送特性に配慮した同軸プローブの技術を培ってきた点です。同社はマイクロ波測定用プローブの開発を手がけ、1988年には50Ωのコプレーナ型フレキシブルチップを備えた同軸マイクロ波プローブの特許を取得しました。
高周波測定では、プローブ自体による信号の損失が測定結果に影響するため、測定系の影響を抑える設計が必要です。同軸構造を採用したプローブは、信号を伝送する経路の特性に配慮できる点が特徴。半導体デバイスが持つ高周波特性を評価する測定環境を構築できるようになっています。
測定対象の表面形状や電極配置は、半導体デバイスによって異なります。GGB Industriesは、接点にスプリング機構を備えたプローブや、測定対象に合わせて構成を設計するプローブカードを展開している点も強みです。
スプリング機構を備えた接点は、測定対象の表面に凹凸がある場合にも接触を確保するための設計に役立ちます。また、プローブカードはRF信号用と直流測定用の接点を組み合わせ、デバイスの電極配置に応じた構成にも対応。こうした技術により、測定対象や評価内容に合わせたプロービング環境を構築できます。
高周波デバイスの測定で信号の損失を抑えたい企業や、半導体のRF信号と直流信号を同時に評価したい企業に適しています。GGB Industriesは、高周波測定に対応する同軸プローブや、RF信号用と直流測定用の接点を組み合わせたプローブカードを展開。測定対象の電極配置や評価内容に応じたプローブを選べるため、半導体デバイスの特性評価に必要な測定環境を構築できます。
コンタクトプローブは、検査対象の形状や使用環境、求められる電流容量・耐久性・精度などによって、選ぶべき製品やメーカーが異なります。
そこで当メディアでは、各現場のニーズに合うコンタクトプローブメーカーを厳選し、技術的な特徴や導入実績とともに紹介しています。製品選定の参考に、ぜひご活用ください。
Model 40Aは、DCから40GHzまでの測定に対応する同軸型RFプローブです。2.9mmのKコネクタを採用し、個別にスプリングで荷重をかけるプローブチップによって、凹凸のある測定面にも接触できます。チップ材質はベリリウム銅、タングステン、ニッケルから選択でき、測定対象や用途に応じた構成を選べます。
| 主な用途 | 半導体ウェハーなどの高周波電気特性測定 |
|---|---|
| Kelvin対応 | 公式サイトに記載なし |
| 高周波対応 | DC~40GHz |
| 対応ピッチ | 25~2,540μm |
| ストローク (フル) | 公式サイトに記載なし |
| スプリング 荷重 | 公式サイトに記載なし |
| 先端形状 | GSG、GS、SG構成に対応 |
| 許容電流 | 公式サイトに記載なし |
| 耐久サイクル | 公式サイトに記載なし |
| 動作温度 | 公式サイトに記載なし |
挿入損失などの電気特性は、アダプターの種類や先端構成によって異なります。P型アダプターの場合、GSG構成(ピッチ50~300μm)で40GHzまでの挿入損失は1.0dB未満(代表値0.70dB)、リターンロスは18dB超(代表値20dB)。GS構成・SG構成では、40GHzまでの挿入損失は2.0dB未満(代表値1.6dB)です。
標準的な4.5インチのプローブカードや特注のプローブカードへの取り付けにも対応しており、RF測定用プローブと複数の直流測定用ニードルを組み合わせた構成も可能です。
Model 67Aは、DCから67GHzまでの測定に対応するコプレーナ型RFプローブです。内部の伝送には同軸構造を採用しています。1.85mmのVコネクタを採用し、個別にスプリングで荷重をかけるチップによって測定対象への接触を確保します。チップ材質はベリリウム銅またはタングステンから選択可能。より高い周波数帯の測定ができる製品が必要な際に適しています。
| 主な用途 | 半導体ウェハーなどの高周波電気特性測定 |
|---|---|
| Kelvin対応 | 公式サイトに記載なし |
| 高周波対応 | DC~67GHz |
| 対応ピッチ | 25~1,250μm |
| ストローク (フル) | 公式サイトに記載なし |
| スプリング 荷重 | 公式サイトに記載なし |
| 先端形状 | GSG、GS、SG構成に対応 |
| 許容電流 | 公式サイトに記載なし |
| 耐久サイクル | 公式サイトに記載なし |
| 動作温度 | 公式サイトに記載なし |
67GHzまでの挿入損失は1.1dB未満、リターンロスは14dB超とされています。対応ピッチは25~1,250μmで、測定対象の電極配置に合わせてGSG、GS、SGの構成を選択できます。
GGB IndustriesのProbe Cardは、測定対象のレイアウトに合わせて製作するプローブカードです。高密度のRF接点と直流測定用接点を組み合わせられ、MMICやモジュールなどの測定に使用できます。カードごとに仕様を設計するため、複数の測定点を持つデバイスや、RFと直流の両方を測定する用途に対応しています。
| 主な用途 | MMIC、モジュールなどのRF・直流測定 |
|---|---|
| Kelvin対応 | 公式サイトに記載なし |
| 高周波対応 | DC~40GHz、50GHz、67GHz、110GHzから構成に応じて選択 |
| 対応ピッチ | 50~1,250μm(これより大きいピッチは特注で対応) |
| ストローク (フル) | 公式サイトに記載なし |
| スプリング 荷重 | 公式サイトに記載なし |
| 先端形状 | GSG、GS、SG構成に対応。RF用・直流測定用の接点を組み合わせ可能 |
| 許容電流 | 公式サイトに記載なし |
| 耐久サイクル | 公式サイトに記載なし |
| 動作温度 | 公式サイトに記載なし |
Probe Cardは、MMICやモジュールの測定に向けて、RF用と直流測定用の接点を組み合わせた構成を設計できます。プローブの先端位置は深さを変えて設定できるため、段差のある多層構造のモジュールにも対応可能。電源ピン用のバイパスコンデンサは、3か所の位置から選んで設けられます。対応周波数や接点配置などの詳細は、測定対象の仕様に応じてメーカーへの問い合わせが必要です。
GGB IndustriesのRFプローブは、製品によって対応周波数や接続コネクタ、チップの材質、対応ピッチなどが異なります。Model 40AとModel 67Aの主な仕様は以下のとおりです。
Model 40Aは、同軸構造を採用したRFプローブです。Model 67Aは、先端がコプレーナ型で、内部の伝送に同軸構造を採用したRFプローブです。いずれも個別にスプリングで荷重をかけるチップを備え、表面に凹凸がある場合にも接触を確保できる設計です。対応するチップ材質やピッチ、信号接点の構成は製品によって異なります。
GGB Industriesの公式サイトでは、個別の導入企業や導入事例を具体的に紹介する情報は確認できませんでした。
| 会社名 | GGB Industries, Inc. |
|---|---|
| 所在地 | 4196 Corporate Sq, Naples, FL 34104, USA |
| 問い合わせ | +1-239-643-4400 email@ggb.com |
| 公式HP | https://ggb.com/ |
