FormFactor

アメリカに本社を構えるFormFactorは、半導体のテスト・計測に関する技術を提供するグローバルメーカーです。MEMSプローブをはじめ、プローブカード、プローブシステムなどを展開し、ICの特性評価やモデリング、信頼性試験、認定試験、量産テストなど幅広い半導体テストに対応しています。本ページでは、FormFactorのプローブ技術や製品ラインアップを紹介します。

FormFactorのプローブにおける技術的な強み

FormFactorは、MEMS技術を活用したプローブや、RF・高周波測定に対応するプローブ技術を展開しています。微細な接点への対応や高い接触再現性、高周波領域での信号測定など、先端半導体のテストに求められるさまざまな要件に対応しています。

MEMS技術による微細・高耐久なプローブ

FormFactorは、MEMS技術を用いて微小な電気的スプリングを製造しており、これらのMEMSプローブは先端半導体のファインピッチや高ピン数の要求に対応しています。また、ICのテストにおいて100万回を超えるコンタクトサイクルに対応できることを公式サイトで説明しています。

DC～250GHzに対応する高周波プロービング

FormFactorのInfinityXFは、DC～250GHzの広帯域ウエハープロービングに対応する同軸プローブです。最大250GHzまでの周波数範囲でSパラメータ測定に対応し、Keysight Technologiesと共同開発されています。

FormFactorのプローブ製品一覧

FormFactorでは、RF・高周波、DC、電力半導体、信号整合性など、さまざまな用途に対応するプローブを展開しています。ここでは代表的な製品を紹介します。

InfinityXFプローブ

DC～250GHzの広帯域ウエハープロービングに対応する同軸プローブです。最大250GHzまでのSパラメータ測定に対応し、Keysight TechnologiesのPNA-Xシステムおよび250GHz同軸周波数エクステンションモジュールとの組み合わせに対応しています。

DCプローブ

FormFactorでは、先端半導体のプロセス評価、デバイス特性評価、信頼性試験などに対応するDCプローブを展開しています。温度環境下での測定に対応する製品や、ガード・シールド機能を備えた製品などがあります。

電力半導体向けプローブ

電力半導体向けには、低接触抵抗での測定に対応するHigh Current Probeや、最大10,000Vまでのデバイスパラメータ測定に対応するHigh Voltage Probeなどを展開しています。公式サイトでは、電力半導体向けプローブについて最大600A・10,000Vまでのウエハー測定に対応する製品群が紹介されています。

FormFactorの導入事例

現在、公式サイトに具体的な導入事例の記載はありませんでした。実際の採用実績等についてはメーカーへ直接お問い合わせください。

FormFactorの納期・サポート体制

グローバルなサポートネットワークにより、保守や修理などを幅広く提供しています。

• 最小発注数量（MOQ）：公式サイトに記載なし
• 納期／リードタイム：公式サイトに記載なし
• 技術サポート：システムサポートや解析プローブの修理・保守サポートを提供
• カスタマイズ対応：カスタム・スペシャリティプローブおよびカスタムプローブシステムを提供

FormFactorの概要